格格党小说 > 悬疑推理 > 公司搞出光刻机,员工逼我当首富 > 第802章 欧皇妲:我不太懂光刻胶

第802章 欧皇妲:我不太懂光刻胶(2 / 2)

我带着团队试了三个月,调整了三十多种聚合物配比,始终突破不了。”

程新彤有些失落,她没想到自己带领的团队,还真就迟迟没法解决这个问题。

自己好歹从校园出来后,也从事这方面的研究二十年。

结果科技就是这样,突破不了,就是没法突破。

稍作停顿后,她继续往下分析。

“第三,敏感度。”程新彤的声音带上了一丝疲惫,“13n制程用的光源波长极短,能量密度很高。我们的光刻胶要么敏感度不够,曝光时间太长影响产能;

要么敏感度上去了,但又会出现严重的产酸扩散,导致图案模糊。

这个平衡点,我找了国内三个顶尖团队会诊,都没给出可行方案。”

“我也请教过导师……导师一时间也没有什么建议。”程新彤苦涩的说道,“只说需要多尝试,用时间来试错。”

程新彤面露无奈,时间,她现在最缺的就是时间!

自从跟光电集团合并后,强强联合,公司的业务方面需要她担心的并不多,因此研究资金也丰裕了不少。可是如果再迟迟没法突破。

跟不上樱花国的前沿光刻胶步伐,那恐怕将会错过这个千载难逢的机会。

特别是紫晶工厂作为自研光刻机的机构,一旦对南彤光电失望,选择支持其他的光刻胶,那缺乏后续持续资金的投研,恐怕将会被淘汰。

旁边一位戴眼镜的男研究员补充道:“程总,还有缺陷率的问题。上周测试的批次,显影后缺陷密度还在30个/平方厘米以上,紫晶那边要求低于5个。”

程新彤点了点头,看向欧皇妲:“小师妹你看,分辨率、LWR、敏感度、缺陷率,每一个都是死结。

现在紫晶那边的采购部已经放话了,如果三个月内拿不出达标的小批量样品,他们就要考虑在跟其他的厂家合作,支持其他厂家的光刻胶研究。

甚至……他们要自己展开研究。师姐我也是没办法了。”

程新彤无奈的说着。

会议室里安静了几秒。

秦岚在一边如听天书,但她心里觉得:“这不会是紫晶工厂为了刺激新彤故意放出狠话吧?目前国内最顶级的就是新彤,再支持其他厂家,那不是要耗费更多时间么。”

欧皇妲放下奶茶杯,走到大屏幕前,目光扫过那些密密麻麻的参数表格和分子结构式。

“师姐,你们的聚合物骨架用的是甲基丙烯酸酯类吧?”欧皇妲忽然开口。

程新彤跟着她的目光,立即回答道:“对,PMMA衍生物,目前国内最成熟的体系。”

“光酸产生剂呢?三芳基硫鎓盐?”

“是。”

“淬灭剂用的三级胺?”

“没错。”程新彤眼睛亮了一下,“小师妹你怎么一眼就看出来了?”